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日本松定高壓電源HMEC系列
型號：靜電チャック用高圧電源
品牌：日本松定電源[鵬控代理]
產品說明

靜電チャック用高圧電源

HMECシリーズは、靜電チャック専用に開発された高電圧電源です。小型組込型で裝置への組込が容易です。外部信號により出力極性を切り換えることでスムーズにウェハーの剝離が可能になります。

  • 靜電チャック専用設計。
  • 両極性切換式によるスムーズな剝離。
  • 外部信號による出力極性、出力電圧の制御。
  • 出力電圧電流モニタ付。

出　力

モデル名

電　圧[kV]

電　流[mA]

リップル[%rms]

±1

10

0.1

HMEC-1R10

±1.5

6.6

0.1

HMEC-1.5R6.6

±2

5

0.1

HMEC-2R5

±3

3.3

0.1

HMEC-3R3.3

±5

2

0.1

HMEC-5R2

±10

1

0.1

HMEC-10R1

 

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