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HMECシリーズは、靜電チャック専用に開発された高電圧電源です。小型組込型で裝置への組込が容易です。外部信號により出力極性を切り換えることでスムーズにウェハーの剝離が可能になります。
- 靜電チャック専用設(shè)計(jì)。
- 両極性切換式によるスムーズな剝離。
- 外部信號による出力極性、出力電圧の制御。
- 出力電圧電流モニタ付。
|
出 力 |
モデル名 |
||
|
電 圧[kV] |
電 流[mA] |
リップル[%rms] |
|
|
±1 |
10 |
0.1 |
HMEC-1R10 |
|
±1.5 |
6.6 |
0.1 |
HMEC-1.5R6.6 |
|
±2 |
5 |
0.1 |
HMEC-2R5 |
|
±3 |
3.3 |
0.1 |
HMEC-3R3.3 |
|
±5 |
2 |
0.1 |
HMEC-5R2 |
|
±10 |
1 |
0.1 |
HMEC-10R1 |
|
|
公司營業(yè)時(shí)間：周一～周五，北京時(shí)間【8:30-17:30】
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