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日本松定高壓電源HJC系列
型號：HJC系列
品牌：日本松定電源[鵬控代理]
產(chǎn)品說明

HJCシリーズ

靜電チャック用高圧電源

HJCシリーズは、靜電チャック専用として開発された高圧電源です。DC ON/OFFによるチャックのON/OFFの他、チャックOFFの際、極性を反転させてスムーズにウエハーを剝離させることも可能です。

·  靜電チャック専用設(shè)計。

·  出力は電子スイッチで高速応答(100ms)。

·  両極性出力。

·  RFフィルタ內(nèi)蔵（オプション）。

·  リレーを使わないので高信頼、長壽命。

出　力

モデル名

電　圧[kV]

電　流[mA]

リップル[%ms]

±1

6

0.1

HJC-1B6

30

0.1

HJC-1B30

±2

3

0.1

HJC-2B3

15

0.1

HJC-2B15

±3

2

0.1

HJC-3B2

10

0.1

HJC-3B10

±4

1.5

0.1

HJC-4B1.5

7.5

0.1

HJC-4B7.5

±5

1.2

0.1

HJC-5B1.2

6

0.1

HJC-5B6

 

用戶評論 我來說兩句(?)
標(biāo)題
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1
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最后編輯于：2021-01-09 18:41
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最后編輯于：2020-12-13 06:01
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最后編輯于：2020-12-13 06:01

 

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